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擴散爐熱電(diàn)偶:
半導體(tǐ)專用測溫儀表擴散爐熱電(diàn)偶分為(wèi):多(duō)晶鑄錠爐熱偶、擴散爐專用熱電(diàn)偶、鑄錠爐熱電(diàn)偶、profile TC、Paddle TC、Spike TC多(duō)點式擴散爐熱電(diàn)偶等,各種産品形态不一,大(dà)小(xiǎo)與結構也盡不相同。做(zuò)為(wèi)高(gāo)精度擴散爐熱電(diàn)偶來(lái)說,為(wèi)各大(dà)光伏産業帶來(lái)了許多(duō)幫助。該産品為(wèi)了生(shēng)産加工PECVD的隔離導電(diàn)性,外表的絕緣采用透明(míng)高(gāo)純度石英管或高(gāo)純度剛玉管制(zhì)造而成,采用多(duō)個(gè)點位測量,也有(yǒu)用戶采用多(duō)點測量法計(jì)算(suàn)出爐內(nèi)的平均值從而獲得(de)應有(yǒu)的數(shù)據。
溫度測量在0~1800℃中使用,測量點分為(wèi)單點和(hé)多(duō)點,點可(kě)達8個(gè)點的測量,精度符合***,工業等級I級,1500度誤差2℃不到,精度相當高(gāo),完全代替進口産品。擴散爐熱電(diàn)偶用于光伏産業、半導體(tǐ)的開(kāi)發與研制(zhì)、科研領域、***單位、進口設備(如:Centrotherm擴散爐設備、ALD真空(kōng)感應爐、GT Solar 的 DSS 爐等)、燒結爐、退火(huǒ)爐、真空(kōng)爐、氧化爐、擴散爐等,可(kě)溶化多(duō)晶矽、生(shēng)長多(duō)晶矽錠、單晶矽、非晶矽、無定形矽和(hé)玻璃等工藝測溫。
技(jì)術(shù)參數(shù):
1、符合IEC584 GB/T18404-2001标準
2、精度等級:CLASS-A:0.25% ;CLASS-B:0.5%
3、Spike TC是用來(lái)測量與控制(zhì)爐管外的各點溫度
4、profile TC與Paddle TC是用來(lái)測量與控制(zhì)爐管內(nèi)各點溫度
5、與spike和(hé)profile配套使用,可(kě)自動切換方式進行(xíng)控溫
6、壽命長、精度高(gāo)、穩定性好、交貨期短(duǎn)、可(kě)完全代替進口
7、擴散爐熱電(diàn)偶總長含頭1750mm。(5點長:1700、1530、1200、870、700)
擴散爐爐內(nèi)熱電(diàn)偶(爐內(nèi)、爐外):
NAME | profile TC (point :1、3、5、8) | |||
TYPE | SKFN-profile TC1、SKFN-profile TC3、SKFN-profile TC5、SKFN-profile TC8 | |||
GRADUATION | B-type | S-type | R-type | K-type |
QUALITY | 剛玉管、陶瓷管、石英管、钼管、鎢管 | |||
SPEC | Φ2.0、Φ2.5、Φ3.0、Φ3.2、Φ4.0、Φ5.0、Φ6.0、Φ8.0、Φ10.0mm | |||
RANGE | 0~1800℃ | 0~1600℃ | 0~1600℃ | 0~1300℃ |
SENSITIVITY | 5s≤ | 5s≤ | 8s≤ | 10s≤ |
THERMAL ERROR | 1.0℃ | 1.2℃ | 1.5℃ | 2.0℃ |
USE | 燒結爐、退火(huǒ)爐、真空(kōng)爐、氧化爐、擴散爐 | |||
FIRM NAME | 石英熱電(diàn)偶、多(duō)點熱電(diàn)偶、擴散爐熱電(diàn)偶、貴金屬鉑铑熱電(diàn)偶 |
我們本着誠信經營的原則,以技(jì)術(shù)、服務做(zuò)為(wèi)企業的核心競争力,積極進取,勇于開(kāi)拓,經過多(duō)年的努力拼搏,已成為(wèi)行(xíng)業中的佼佼者。
主要産品有(yǒu):洗滌機械系列、染色機系列、汽車(chē)散熱器(qì)專用脫水(shuǐ)機、烘幹機系列、燙平機系列、幹洗機系列、洗脫兩用機系列、噴砂機系列
我們将繼續利用技(jì)術(shù)産品優勢,不斷地改善設備工藝,加強質量管理(lǐ),完善售前、售後服務,并與研究機構密切配合,為(wèi)用戶提供更出色的産品與服務,讓用戶得(de)到滿意。